Molybdenum Sputtering Target

The application of molybdenum sputtering targets is mainly concentrated in flat-panel displays, thin-film solar cell electrodes and wiring materials, and semiconductor barrier materials. These materials are based on molybdenum with high melting point, high conductivity, and low specific impedance, and have good Corrosion resistance and environmental performance.

Molybdenum Sputtering Target detalhes

OAlvo planar de molibdênioé processado a partir de placas de alta qualidade da nossa empresa. Tem as características de alta densidade, sem rachaduras internas e bolhas, superfície brilhante, cor uniforme e tamanho preciso.

Pequenos alvos de fiação de molibdênio são processados a partir de hastes de alta qualidade e têm as características de dimensões precisas, superfície lisa e alta pureza.

Alvos rotativos de molibdênio de tamanho regular são produzidos usando o processo de prensagem isostática a quente e apresentam alta densidade (densidade de até 10,15 g / cm3), grãos finos e boa moldagem.

Densidade convencional: 10g/cm³ ~ 10,15 g/cm³;

Densidade especial do processo: superior a 10,15g/cm³.

Os requisitos para alvos de pulverização são maiores do que aqueles na indústria de materiais tradicional. Requisitos gerais incluem: tamanho, planicidade, pureza, teor de impurezas, densidade, N/O/C/S, tamanho de grão e controle de defeitos; requisitos mais elevados ou requisitos especiais Incluindo: rugosidade superficial, valor de resistência, uniformidade do tamanho de grão, composição e uniformidade da estrutura, conteúdo e tamanho de matéria estranha (óxido), permeabilidade magnética, ultra-alta densidade e grãos ultra-finos, etc. O revestimento por pulverização por magnetron é um novo tipo de método de revestimento de vapor físico. Ele usa um sistema de pistola de elétrons para emitir e focar elétrons no material a ser chapeado, de modo que os átomos pulverizados seguem o princípio de conversão de momento e voam para longe do material com maior energia cinética. Este material chapeado é chamado de alvo de pulverização. Os materiais alvo de pulverização incluem metais, ligas, compostos cerâmicos, etc.


O revestimento sputtering do magnetron é um novo tipo de método físico do revestimento do vapor. Comparado com o método do revestimento da evaporação, tem vantagens óbvias em muitos aspectos. Como uma tecnologia relativamente madura que foi desenvolvida, magnetron sputtering tem sido aplicado em muitos campos.

Tecnologia de sputtering, sputtering é uma das principais tecnologias para a preparação de materiais de filme fino. Ele usa íons gerados por uma fonte de íons para acelerar e reunir em um vácuo para formar um feixe de íons de alta velocidade que bombardeia a superfície sólida. Os íons e átomos na superfície sólida são gerados. A troca de energia cinética faz com que os átomos na superfície sólida deixem o sólido e depositem-se na superfície do substrato. O sólido bombardeado é a matéria-prima para a preparação de filmes finos depositados por pulverização catódica, que é chamado de alvo de pulverização catódica. Vários tipos de materiais de filme fino pulverizado têm sido amplamente utilizados em circuitos integrados semicondutores, energia solar fotovoltaica, mídia de gravação, displays planos e revestimentos de superfície da peça de trabalho.

Os alvos Sputtering são usados principalmente nas indústrias de eletrônica e informação, tais como circuitos integrados, armazenamento de informações, displays de cristal líquido, memórias laser, dispositivos de controle eletrônico, etc.; eles também podem ser usados no campo do revestimento de vidro; eles também podem ser usados em materiais resistentes ao desgaste, resistência à corrosão de alta temperatura, suprimentos decorativos e outras indústrias.

Alvos de molibdênio são amplamente utilizados em muitos campos. A seguir estão alguns usos comuns de alvos de molibdênio:

1. deposição de filme fino: Os alvos de molibdênio podem ser usados para preparar filmes finos de molibdênio usando deposição física de vapor (PVD) ou pulverização por magnetron. Estes filmes geralmente têm excelentes propriedades condutivas, altos pontos de fusão e resistência à corrosão, e são, portanto, frequentemente usados para preparar camadas condutoras, camadas de barreira, linhas de conexão de metal e outras aplicações. Filmes finos de molibdênio são um material comum em áreas como fabricação de circuitos integrados e células solares de filme fino.

2. equipamentos de vácuo e revestimento de barreira térmica: Devido ao alto ponto de fusão do molibdênio, baixa taxa de evaporação e boa estabilidade térmica, alvos de molibdênio podem ser usados para preparar componentes em equipamentos de vácuo, tais como válvulas de liga de tungstênio-molibdênio, aquecedores de tungstênio-molibdênio, etc.

Além disso, o molibdênio também pode ser usado para preparar revestimentos de barreira térmica em aplicações de alta temperatura para melhorar a resistência ao calor dos materiais e proteger materiais de base.

3. Revestimento óptico:Alvos de molibdêniotambém são usados no campo óptico. Ao depositar filmes finos de molibdênio, revestimentos com propriedades ópticas específicas podem ser produzidos, tais como espelhos, filtros e filmes de transmissão. Os filmes de molibdênio têm boas propriedades reflexivas na faixa espectral infravermelha e, portanto, são comumente usados em óptica infravermelha e sistemas laser.

4. dispositivos eletrônicos: alvos de molibdênio também têm aplicações importantes na fabricação de dispositivos eletrônicos. Por exemplo, na tecnologia de exibição, filmes de molibdênio podem ser usados como backsheets para displays com boa condutividade elétrica e estabilidade térmica.

Além disso, o molibdênio também é usado como material de contato, eletrodo e fio em dispositivos eletrônicos.

5. pesquisa de materiais e aplicações de laboratório: Os alvos de molibdênio também são amplamente utilizados em pesquisas científicas e aplicações de laboratório. Pode ser usado como um material alvo para estudar o crescimento do filme, a modificação da superfície e as propriedades do material.

Além disso, alvos de molibdênio também podem ser usados para preparação de amostras de microscópio eletrônico (MEV), padrões de espectrômetro de fluorescência de raios X (XRF) e outras aplicações

The properties of molybdenum sputtering targets are the same as (pure molybdenum or molybdenum alloys). Molybdenum is a metallic element primarily used in steel. Most of it is directly used in steelmaking or cast iron. Small amounts of molybdenum are smelted into ferromolybdenum or molybdenum foil, which is then used to make steel. It can improve t